Модульные решения для вашего производства
- Модули могут объединяться транспортным роботом для перемещения кремниевых пластин
- Модульная конструкция обеспечивает быстрый доступ к блокам и системам при ремонте и техобслуживании
- Конструкция установки оптимально выстраивается под задачи технологического процесса
- Модульные решения применимы как для лабораторных исследований, так и для серийного выпуска
Модуль обработки в парах ГМДС
Обработка пластины в парах ГМДС (гексаметилдисилазан) перед нанесением фоторезиста улучшает адгезию к поверхности.
Характеристики:
-
Диаметр пластин: 150–200 мм
-
Производительность: 80 пластин/час
- Рабочая температура: 50–150°C
Модуль нанесения фоторезиста
Формирование фоторезистивной пленки методом центрифугирования.
Характеристики:
- Диаметр пластин: 150–200 мм
- Производительность: 80 пластин/час
- Скорость вращения: 10 000 об/мин
- Вязкость резистов: до 50 000 сP
Модуль проявления фоторезиста
Обработка пластины в проявителе для селективного удаления экспонированных.
участков фоторезиста.
Характеристики:
-
Диаметр пластин: 150–200 мм
-
Производительность: 80 пластин/час
-
Режимы проявления:
погружение, статическое проявление, распыление
- Скорость вращения: 10 000 об/мин
Варианты исполнения
Линия нанесения фоторезиста
- модуль загрузки - выгрузки
- модуль нанесения фоторезиста
- модуль термообработки
- модуль термостабилизации
Линия проявления фоторезиста
- модуль загрузки - выгрузки
- модуль проявления фоторезиста
- модуль термообработки
- модуль термостабилизации
Модуль термообработки
Высокая термостабильность горячей плиты позволяет добиться высокой равномерности толщины слоя фоторезиста и воспроизводимости размера элемента.
Характеристики:
- Диаметр пластин: 150–200 мм
- Производительность: 60 пластин/час
- Рабочий диапазон температур: 60–250 °C
- Температурная стабильность: ±0.5°C на всей поверхности плиты
- Материал: алюминиево-никелевый сплав с антипригарным покрытием
- Возможно исполнение в виде «этажерки» с наполнением модуля термообработки несколькими плитами
- Опционально: зональный нагрев для компенсации краевых эффектов пластины
Варианты исполнения
Установка нанесения и проявления фоторезиста
- модуль нанесения фоторезиста
- модуль термообработки
- модуль проявления фоторезиста
Модуль термостабилизации
Охлаждение пластины после термообработки обеспечивает стабилизацию её температуры до заданных параметров перед дальнейшей обработкой на модулях нанесения, проявления и процесса экспонирования.
Характеристики:
- Диаметр пластин: 150–200 мм
- Производительность: 40 пластин/час
- Номинальная температура: 20–25 °C
- Возможно исполнение в виде «этажерки» с наполнением модуля несколькими плитами
Варианты исполнения
Установка нанесения фоторезиста с термообработкой
- модуль нанесения фоторезиста
- модуль термообработки
Установка проявления фоторезиста с термообработкой
- модуль проявления фоторезиста
- модуль термообработки
Транспортный модуль (робот)
Автоматическая транспортировка пластин между технологическими станциями обеспечивает непрерывный поток обработки.
Характеристики:
-
Диаметр пластин: 150–200 мм
-
Угол поворота в рабочей зоне: 340°
- Количество осей: 4 шт.
фото
Варианты исполнения
Установка нанесения фоторезиста
- модуль нанесения фоторезиста
Установка проявления фоторезиста
- модуль проявления фоторезиста
Фильтровентиляционный модуль
Очищение воздуха, циркулирующего в рабочей камере, создание ламинарного потока, удаление частиц и ВМЗ. Обеспечивает необходимый класс чистоты процесса.
Характеристики:
- Класс чистоты: ISO 3–5 для критических зон
- Расход воздуха: до 2000 м³/час
- Уровень шума: ≤65 дБ
фото