Готовые решения

Модульный комплекс обеспечивает быстрый доступ к блокам и системам при ремонте и техобслуживании. Конструкция установки оптимально выстраивается под задачи технологического процесса.

Модульный конструктор

Модульные решения для фотолитографии, адаптированные под требования отечественных производителей микроэлектронных компонентов. Наши решения позволяют оптимизировать производственные процессы и обеспечить соответствие мировым технологическим стандартам.